电子显微镜的现状与展望

电子显微镜是现代科学技术的重要工具。透射电镜和扫描电镜是其两大类。近年发展的高分辨电子显微学可实现单个原子成像。像差校正技术的应用提高了分辨本领。原子尺度电子全息学用于电磁场测量和高分辨像重构。扫描电镜的分辨本领有望达到0.2-0.3nm，并观察到原子像。...